二手 ULTRATECH Unity AP300 #293816715 待售

ULTRATECH Unity AP300是一種用於驅動半導體生產過程的光刻晶圓步進器。它是作為AP系列光刻設備系列的補充而開發的，提供了強大的制圖能力和提高的吞吐量。這種穩健的晶片步進器提供了快速、精確和可重復的陣列,從而提高了產量並降低了成本。該晶片步進器利用5軸級和靜止場投影光學器件來確保晶片的快速、均勻曝光。該設備采用獨有的倒置失真成像系統，在聚焦和掃描晶片時補償失真，從而實現精確曝光和對準。晶片步進器利用Xact分辨率技術提供目標角的最佳聚焦和分辨率,從而可以在任何基板上可靠地成像圖樣。ULTRATECH UNITY AP 300的設計還通過優化步進器性能、最大限度地減少晶圓裝卸造成的停機時間以及優化整體吞吐量來實現高生產率。利用其先進的功能集,此晶片步進器能夠在最緊密的線寬/空間（LWS）比率範圍內提供寬範圍的磁場大小的晶片。晶圓步進器利用6英寸方形基板尺寸，使其與廣泛的晶圓兼容。Unity AP300配備石墨爐，提供均勻的溫度控制，防止敏感基板上與熱有關的變形。此外,它還具有智能子字段功能,可將大字段細分為較小的子字段,以實現更好的曝光。晶片步進器具有直觀的圖形用戶界面以簡化設置和操作,以及狀態報告窗口,可隨時向用戶通報當前的作業進度。UNITY AP 300專為提供可靠可靠的陣列而設計,為各種應用程序提供了極致的靈活性、性能和工作效率。憑借先進的成像技術、直觀的界面和先進的功能,AP300提供了用於簡化晶圓生產過程的尖端技術。