二手 ULTRATECH Unity AP300 #9247822 待售

ULTRATECH Unity TM AP300是一種通用的高精度晶圓步進器,用於微電子器件的精密光刻曝光。它專為亞微米器件的高通量生產而設計，在整個模具尺寸周圍具有亞微米的配準能力。它具有下一代處理技術,包括工作管理、光圈設計、多層陣列和叠加對齊。利用75微米數值光圈的紫外光源.它同時支持步進重復和全場模式投影曝光。它有一個專利，可傾斜的標線架，簡化曝光編程，模式曝光和對齊。此外，它還擁有一個創新的、方便用戶使用的真空設備，能夠最大限度地減少汙染和拒絕在平臺上建立起來。該系統具有用於移動基板的精密伺服控制級和用於精確位置反饋的高分辨率編碼器。它具有獨立的雙非接觸探針單元，具有較高的叠加對準精度。其持有者的設計使晶片加載、操作、對準和暴露的高密度模具能夠快速和方便。它還允許方便地進入標線，並有一個自我監控的運輸機器。它還有一個網絡監測工具，以確保高效生產和過程完整性。控制器包括PC兼容PC和專用ULTRATECHTM Progmatic 2.0控制器。PC兼容PC是一種高端、多處理器的資產,具有全套PC應用程序。此模型包括一個用戶友好的界面,可實現模具設計、標線設置和神經網絡驅動的過程優化。Progmatic 2.0控制器是真正的開放式體系結構、多任務機器人控制器,它管理步進自動化和機器功能。它提供了多種復雜的功能,以滿足高容量平版印刷生產所需的高端性能和可靠性。ULTRATECH Unity TM AP300的設計符合最高質量的光刻要求,曝光精度達到0.3 um （3.0 σ。它還提供20nm及更高的高速曝光,從而實現了高級和超小型設備的高通量生產。它滿足了低功耗、高性能集成電路最嚴格的光刻要求。總體而言，它為高精度、超可靠的光刻曝光和先進微電子的生產提供了經濟高效的解決方案。