二手 ULTRATECH XLS 200 #9382961 待售

ULTRATECH XLS 200晶圓步進器是專門為制造亞微米半導體晶圓而設計的先進光刻設備。該系統擁有最新的先進成像和曝光技術,為用戶提供最高水平的準確性和成本控制。ULTRATECH XLS200利用可伸縮的集成光學平臺和雙步進電機驅動單元,可提供高達一整個納米的精度。該平臺設有全場掃描階段、集成模式發生器和自動曝光機。集成模式發生器的重復精度為10nm，可實現0.5 μ m的高精度分辨率。XLS 200配備了先進的曝光工具,集成掃描階段能夠以6秒/掃描的速度掃描200 mm晶圓。曝光資產具有多種算法，包括優化的運行時功率補償、整體對齊和劑量整形，允許用戶最大限度地提高吞吐量，最大限度地減少功耗。XLS200還采用了全自動晶圓磁道管理模式。此功能允許更快地加載輸入,並減少手動調整,以確保最高的吞吐量和準確性。晶圓軌道管理設備還提供了全面的系統歷史記錄，允許用戶跟蹤錯誤、跟蹤錯誤、優化操作以快速高效地完成任務。ULTRATECH XLS 200是ULTRATECH最強大、最先進的光刻單元，旨在滿足半導體行業要求的最高精度水平和成本控制。ULTRATECH XLS200具有集成的光學平臺、更高的分辨率以及自動曝光和晶圓軌道管理系統,是關鍵制造和開發周期的首選機器。