二手 ULTRATECH XLS 7500 #9166601 待售

ULTRATECH XLS 7500是松下的下一代晶圓步進器，設計用於整個模具的高精度成像。它是一個先進的光學成像平臺，自動化晶片上和外的模具放置過程。XLS 7500允許制造商以高達前幾代步進器速度七倍的速度生產批量晶片。ULTRATECH XLS 7500的光學傳送設備在分辨率、焦點移位和焦點深度方面提供了卓越的性能。它還具有擴展的聚焦深度範圍，當對直徑達300毫米的晶片進行成像時，可以提供最佳的靈活性。XLS 7500采用智能成像系統,可根據需要自動調整曝光參數。這樣可以在最短曝光時間內確保高分辨率成像。ULTRATECH XLS 7500采用自調節電機驅動單元設計。這樣就可以在整個分辨率範圍內精確快速地定位晶圓。電機驅動器無需手動調節,並確保整個晶片圖像質量的一致性。XLS 7500還提供了一個擴展的視圖鏈和捕獲區域。這樣可以在一次曝光時加載更多的扭曲,從而提高吞吐量。步進器還具有集成缺陷控制機，可自動識別和消除缺陷晶片。這樣可以確保只將原始晶片發送到下一個處理階段。ULTRATECH XLS 7500還提供了全面的視圖對齊套件。它會自動最大化可用字段的數量,並在捕獲圖像之前檢查每個字段的對齊方式。這樣可以確保在整個晶片上準確放置圖樣,且最小程度地未對齊。XLS 7500還允許與在線計量系統集成。這使制造商能夠定量測量每個步進器曝光後每個模具放置和成像步驟的結果。這在生產過程中提供了高度的精確度。總體而言,ULTRATECH XLS 7500是一種功能強大且高效的晶片步進器,其設計目的是以高達前幾代步進器七倍的速度生產批量晶片。它結合了強大的光學成像工具與集成的缺陷控制和對準系統，以及集成的電機驅動資產。它還提供了一個全面的視圖鏈和捕獲區域，並與在線計量系統集成，允許高度精確的生產過程。