二手 ULTRATECH XLS 7500 #9241365 待售

ULTRATECH XLS 7500是一種多用途晶圓步進器，設計用於各種基板上的成像能力。步進器利用LED和汞燈、鏡子、棱鏡和光圈等光學元件陣列進行高度詳細的成像。它具有高分辨率的能力，可以保證1.2微米的最小特征尺寸，從而實現微光刻模式的步進。步進器具有可選的高級高速成像軟件包,只允許10毫秒的曝光時間,從而提高吞吐量。它還擁有先進的光譜成像封裝，可以從254-365 nm的範圍內選擇最合適的波長，以最大限度地提高掩模和基板的對比度。此外，步進器有一個先進的對準包，它允許微調對準和測量晶圓與具有亞微米精度的傳感器。步進器具有多種功能,可確保其長期可靠性。它有一個空氣凈化系統，該系統使用碳過濾器和高效顆粒物空氣過濾器過濾任何顆粒物汙染物，用於清潔房間環境。它具有精確的框架冷卻器，可確保工藝溫度的穩定性和準確性。另外，步進器有一個三點晶片支架，保證晶片在加工過程中的穩定性和對齊。XLS 7500還具有高度可訪問性和用戶友好性。其用戶友好的圖形用戶界面（GUI）允許輕松操作和配置,而其高級數據建模和軟件套件則允許系統級監控。此外,該機器與業界最新的數據格式和接口兼容,例如VME、千兆以太網和基於SCSI的系統。這臺機器也很容易適應廣泛的應用。它提供了廣泛的鏡片如折射和折射，並與電動舞臺，以適應不同的工作距離。此外,還可以使用各種附加硬件和附件進行定制,例如基板卡盤、加熱基板表和晶片邊緣安裝系統。總體而言,ULTRATECH XLS 7500是一款用途極為廣泛的晶圓步進器,具有先進的成像功能和功能,易於操作和配置。它提供高精度和高分辨率的成像,以及一系列可靠和高效成像的功能。其廣泛的自定義選項確保它幾乎適合任何應用程序。