二手 ULTRATECH XLS #9191710 待售

ULTRATECH XLS是一種處理晶片的步進器，特別適合生產精確的器件和太陽能電池組件。它的受控軸位置精度高達0.3 μ m,基本掃描傳感器精度為0.25 μ m。由於其高速加工和成本效益，它是高精度晶片生產的一個具有成本效益的選擇。XLS具有專用的晶片對齊機制，可以記住和回憶最後加載的晶片位置，節省設置時間，減少使用相同晶片集時重新對齊的需要。其分辨率為0.02微米的CCD邊緣檢測設備確保每個晶片定位正確。花崗巖平臺設計提供了良好的穩定性和減振特性，並最大限度地減少了熱漂移。對於產品運輸,步進器具有集群模塊,可同時傳輸多達六個托盤。為了提高安全性和更高的精度，晶片通過真空系統安全地固定在機器的各個部分。ULTRATECH XLS是處理晶片的可靠、高效且具成本效益的選擇，適用於各種不同大小和形狀的晶片。它提供多種曝光技術，包括空中圖像采樣。可以根據晶片的大小選擇掃描字段的大小。此外，XLS還配備了自動背面清洗裝置，保證晶圓的無渣邊緣。ULTRATECH XLS專為苛刻的生產環境而設計,並提供高精度的制造工藝。它易於使用的過程控制器確保了平臺的快速變更,從而提高了效率。步進器還提供集成的掃描儀檢測機和各種晶圓盒。XLS有幾組工藝參數，如曝光劑量、遮罩厚度和曝光時間，可用於根據要求定制設備。其模塊化設計和優越的光學性能保證了準確快速的結果。它也是一個安全的選擇，因為它配備了防潮工具和智能電源監控。綜上所述，ULTRATECH XLS是各種晶圓加工和制造應用的絕佳選擇。它提供了快速、精確和經濟高效的結果,其自動化功能確保了生產過程中的高質量和安全。