二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9138847 待售

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ID: 9138847
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"-12" Open cassette 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是為半導體工業設計的先進晶圓測試和計量設備。該系統將3 D成像的優點與專用的自動化功能結合在一起,以處理樣品並在晶圓和其他基板上創建臨界深度測量。AMAT NANOSEM 3D單元能夠測量從0.1 μ m到幾毫米的深度,分辨率降至0.01 μ m。它還能夠測量表面的輪廓和粗糙度。機器由3 D成像裝置和操控工具兩個主要組件組成。3D成像設備基於數字成像標準(DIS)技術,能夠記錄大圖像場,同時提供高空間分辨率和準確性。資產配備了專有的3D成像算法,允許對形狀、大小和表面形態不同的物體進行大規模的3D成像。此外,它的專利對象識別技術加上各種頭部選項使模型能夠測量開放空腔和可變平面度。該處理設備可實現自動樣品加載和定位,以及各種成像頭的手動和自動移動。自動化的樣品加載過程使晶片和其他基板的加載和定位能夠快速準確。它還支持在需要快速分析不同晶片的情況下進行自動比較成像。此外,系統對操作員進行了全面控制,使操作員能夠通過交互方式調整增益和聚焦設置,以改善成像效果。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D單元的測量軟件易於操作,可實現直觀的工作流控制和數據分析。它能夠為樣本創建強大的3D表示,從而能夠快速識別和查看地形特征。此外,對收集的數據進行分析可以提供有關表面紋理和半徑、斜率和寬度等其他重要尺寸的信息。綜上所述,NANOSEM 3D機是一種先進的晶圓測試和計量工具,利用先進的成像技術,以高分辨率和準確度測量深度和表面輪廓。它具有自動化的示例處理資產和直觀的軟件,便於工作流控制和數據分析。該模型非常適合半導體工業,能夠對晶圓和其他基板進行快速、準確的成像。
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