二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9280517 待售
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ID: 9280517
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 8"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2,000 V
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stage: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20 : 1
Tilt function: 15° (4 Directions)
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Workstation:
Model: SGI Octane
OS: Unix
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit
Prober current:
Low 5pA
Medium 10pA
High 20pA.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一種高科技晶圓測試和計量設備，旨在為納米技術器件的表征提供無與倫比的精確度。AMAT NANOSEM 3D利用尖端、先進的技術，如電子束標準光刻、3D成像，以及非接觸非均勻性測量，以實現更快、更準確的設備測試。該系統具有恒定位置控制和穩定照明的高速多光束，提供高精度和重復性的高質量圖像。應用材料NANOSEM 3D利用先進的模式識別算法來識別電路設計中的關鍵特征參數。專門的算法可以分析特征邊（包括靠近接觸區域的邊）,並可以精確地識別特征方向,即使它是反向的。這樣可以提高電路性能,使測試和測量時間更加準確和高效。NANOSEM 3D中包含一個高精度、非接觸、非均勻性的測量單元，以確保納米尺度特征的均勻性。該機采用垂直和橫向掃描相結合的C-V特性，並具有多通道功能，可方便地為各種晶圓結構定制。為了減少測試過程中的開銷噪聲，AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D包括一個獨特的噪聲檢測和隔離工具。資產采用先進的模式識別算法來識別不同的噪聲，包括熱和電。使用此功能,用戶可以快速檢測並隔離可能出現的任何與噪聲相關的問題。AMAT NANOSEM 3D堅固耐用,可根據任何生產環境的需要定制。通過模塊化設計,可以配置模型以滿足任何用戶的需求,並可以快速輕松地進行修改以合並新的應用程序。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D是一種綜合性晶圓測試和計量設備，旨在提供對納米技術設備的高級分析。它的尖端技術能夠以無與倫比的精確度進行快速、準確和可重復的測試。NANOSEM 3D一定會徹底改變納米技術的世界。
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