二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9293620 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D
ID: 9293620
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一種先進的晶圓測試和計量設備,利用2D和3D技術相結合,產生詳細的缺陷成像圖像。它具有高功率電子束,可用於創建厚度低至單個納米的超高分辨率2D圖像。這種前所未有的分辨率可以比以往更快地識別和分析晶圓級缺陷。AMAT NANOSEM 3D系統采用高分辨率數字信號捕獲(DSC)在微觀水平上捕獲晶體管和器件電流的微小變化。這使設備能夠檢測光學顯微鏡產生的傳統圖像中未被註意到的潛在缺陷。除了DSC之外,APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D機還整合了MRC(Metrology Raster Capture)技術,產生3D圖像,方便分析基板表面介電層結構的細微變化。MRC技術利用強大的激光束在表面上「書寫」一個圖案,提供一個基準標記來突出不同的材料和缺陷。使用這兩種3D成像技術,NANOSEM 3D工具可以監控超高分辨率產品可變性的實時測量,同時檢測納米級異常模式。這使產品均勻性能夠在詳細的層次上進行分析,並能快速有效地檢測到細微的缺陷。資產還提供了可視化功能,能夠「切換」2D和3D視圖,以識別可能的物理缺陷。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D模型設計為易於操作,具有用戶友好的用戶界面。可以根據用戶的喜好、驅動程序和後處理來定制設備,以便完全控制和自動化數據分析。它還包括一種嵌入式腳本語言,使用戶能夠創建用於數據收集、分析和數據共享的自定義腳本。總而言之,AMAT NANOSEM 3D系統是一種先進的晶圓測試和計量解決方案,它將超精確、高分辨率的成像與強大的計量和缺陷檢測工具相結合。強大的2D和3D成像技術、實時測量和自動分析相結合,創建了一個功能強大的單元,為用戶提供無與倫比的圖像分辨率和缺陷檢測功能。
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