二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9298837 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D
ID: 9298837
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12" 2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一種晶圓測試和計量設備,利用先進技術的組合,對晶圓上的單個結構和器件提供實時3D表面映射。該系統配有用於納米級成像的高分辨率光學顯微鏡、用於邊緣檢測的CW激光器和用於擴展視場的動態彎曲定位臺。集成軟件允許在擴展區域內自動采集和分析數據,以及對單個結構進行高速成像。AMAT NANOSEM 3D單元具有出色的成像分辨率和高靈敏度,能夠捕獲其他技術難以檢測的表面特征。CW激光器可提供精確的邊緣檢測,動態彎曲級可實現擴展的視場成像和快速的階段設置。高分辨率顯微鏡和動態彎曲級相結合的特點,使得晶圓表面的小(亞微米)特征能夠進行表面成像和測量,並檢測到許多微米級的細節特征。除了成像能力外,APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D機器還支持穩健的表面計量。直觀的實時環境為缺陷管理、過程優化和故障分析提供了高效的工具。利用高分辨率和遠距離分析,表面計量工具能夠檢測復雜晶圓結構的拓撲和尺寸信息。這種強大的功能組合使NANOSEM 3D資產成為進行全面晶圓分析的理想工具。AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D模型是為滿足半導體制造的精確要求而設計的綜合性晶圓測試和計量設備,適用於研發和小規模生產。該系統結構緊湊,需要最少的安裝和維護。設備的所有組件都是完全自動化的,並通過圖形用戶界面(GUI)進行控制,從而提供用戶友好和直觀的體驗。該機還具有自動校準和錯誤檢測等特點,具有很高的可靠性。
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