二手 AMAT / APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D #9390681 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS NANOSEM 3D是一種晶圓測試和計量設備,旨在提供全面的光刻生產測試和故障分析能力。它具有各種特性和功能，使用戶能夠準確、高效地表征半導體基板上的單層和多層結構，包括前端和互連結構。AMAT NANOSEM 3D具有用於高速自動掃描多個探針的多專業納米操作階段，以及用於精確測量和分析的高分辨率數字圖像捕獲系統。該單元能夠以二維和三維（3D）格式捕獲高達1024 X 1024像素的圖像,這使其成為需要評估底物微小偏差、厚度和材料沈積差異以及結構地形的客戶的理想選擇。該機采用一系列軟件選項構建，包括提供數據文件自動預處理和後處理工具的Optical Tool Kit，以及直接數據導入和導出的軟件支持，使分析測試數據更加容易。此外,該工具還與各種軟件包集成在一起,例如掃描納米探針操作軟件（SNMS）,它使用戶能夠將掃描探針精確導航到給定的基板。APPLICED MATERIALS NANOSEM 3D還具有集成的過程監控系統,可用於高效的生產監控和數據記錄,以及溫度敏感基板的熱控制,以確保晶圓過程穩定。此外,該資產還具有用於X/Y運動的機械執行器和用於傾斜和掃描速度閉環控制的監視器。此外，NANOSEM 3D可應用於多種工藝，包括深溝蝕刻、CMP、金屬計量和高密度電介質。它旨在提供必要的準確性和可重復性，以保持關鍵過程步驟和質量標準的質量控制。