二手 BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #9184680 待售

BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是一種晶圓測試和計量設備，用於測量晶圓和薄膜樣品的高度、厚度、面積和其他相關特性。該系統由高速、高分辨率的非接觸式觸控筆剖面儀、用於大面積平面度映射應用的大型面積測量頭（AMH）和用於映射有限面積平面度測量平面度的可選低傾角頭組成。剖面儀包括用於精確控制掃描參數的線性軸和旋轉軸。主測量頭是一種非接觸式壓電換能器，使操作方便可靠。BRUKER XT設計用於對各種基板上的復雜表面地形進行可靠、準確、可重復的測量和映射。該單元包括顏色編碼的手動和自動測量階段,這些階段可以配置為多種格式,從而提供多種應用程序可能性。其用戶友好和直觀的軟件為直觀的數據操作提供了各種各樣的分析和數據顯示選項。該機器包括一個自動步進/跳轉輪廓,用於以線性或徑向模式導航樣本,從而能夠測量平滑輪廓。SLOAN DEKTAK XT還具有幾個可選附件,這些附件旨在增強工具的測量性能。其中包括用於高精度z定位的星形自動聚焦裝置，以及用於測量振動樣品的可選振動臺。該資產還提供各種用於溫度控制測量的設備，包括烤箱、Peltier電源、燈電源、聲學石英隔振底座和磁場校準套件。XT是準確、可靠、可重現的，被設計為一種易於使用的用於整個過程控制的測量儀器。它非常適合半導體、電子、數據存儲、生物技術、玻璃和材料行業的質量保證和研究應用。DEKTAK BRUKER/SLOAN DEKTAK XT具有低噪聲漂移特性的非接觸式手寫筆測量功能,可提供平滑可靠的數據和可追蹤的結果。這些特性使其成為精確和可重復測量小規模關鍵特征的理想工具，否則這些特征很難使用標準掃描電子顯微鏡進行測量。