二手 HERMES MICROVISION / HMI Epointer2-VC #293666859 待售

HERMES MICROVISION/HMI Epointer2-VC是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量微米範圍內的特征。該系統利用基於視覺的計量技術來實現納米分辨率。該單元由成像頭、視覺控制器、控制單元、檢測軟件組成。成像頭結合了電動物鏡和成像光學器件，以獲取高分辨率圖像。物鏡提供可變數值孔徑（NA）高達0.3,視野高達50mm x 50mm。成像光學器件包含一個LED照明器、照相機和接口板來控制光學器件。照明器為圖像采集提供恒定的亮度，照相機能夠以1 MP的速度捕捉圖像。控制單元集成了必要的硬件和軟件組件來執行測量和測試任務。它配備了PC兼容的微處理器、固態存儲、用戶界面以及與視覺控制器的連接。檢測軟件與成像頭和控制單元協同工作，處理圖像並執行測量任務。軟件可以檢測邊緣和輪廓位置等特征，引導對表面不規則的感知，測量粒度。最後，視覺控制器引導成像頭在特定測試位置的移動，並將所有測量結果合並到測試報告中。綜上所述，HMI Epointer2-VC是一種綜合計量機器，利用基於視覺的技術來實現納米分辨率，從而能夠精確測量小至1微米晶片上的特征。