二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293624109 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,設計用於描述半導體工業中扁平、獨立晶圓和電路組件的特性。它能夠精確地測量許多不同材料的表面拓撲和平坦度,包括矽、砷化氙和石英。KLA 6420 Surfscan系統由一個計量頭、一個測試臺以及各種硬件和軟件選項組成,使其成為最通用的晶圓測試和計量系統之一。計量頭安裝在垂直級,由精密、無刷的萬向節電機驅動。該單元還包括柔性光學鏡面反射儀、幹涉儀、X射線衍射儀、散射儀和X射線表面成像相機。這些元件可以測量表面的物理特性,包括表面粗糙度、平坦度、缺陷和其他拓撲細節,分辨率達到0.5納米或更高。除了物理表面測量功能外,TENCOR 6420 Surfscan機器還提供多種軟件選項。其中包括用於自動缺陷檢測的多通道圖像分析、用於表面表征和趨勢監控的統計分析以及用於虛擬原型制作的交互式3D顯示。此外,該工具可用於故障分析和產品評估,其高級軟件可輕松比較來自多個站點的數據。6420 Surfscan資產是過程監控和生產改進開發的寶貴工具。其精確的測量功能使其非常適合高級質量控制應用,例如監視尺寸、表面缺陷和特征到特征的配準。它還能夠生成各種格式的準確、詳細的報告,使用戶能夠快速分析結果並做出明智的決策。總體而言,PROMETRIX 6420 Surfscan模型是一種功能極其強大的計量設備,能夠以極高的精度和速度分析和報告準確的表面測量和趨勢。它是希望確保其產品符合質量和可靠性標準的半導體制造商的理想選擇。
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