二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293742067 待售

KLA/TENCOR 6420晶圓測試和計量設備是一套多功能的軟件和基於硬件的平臺，允許對半導體晶圓進行自動檢查。這使制造商能夠在制造過程中確保其產品的質量和完整性,並提高總體產量。KLA 6420系統由幾個負責確保質量控制的要素組成。該單元包括一個4D 3001晶圓測量站，使用X等離子體檢測來識別亞維度缺陷和汙染物。該工作站還提供晶圓陣列對齊,用於創建覆蓋測量以報告任何未對齊問題。該機還包括一個4D 3001檢測站，使用近場掃描光學顯微鏡（NSOM）檢查晶圓的地形。該站有八種內部控制的照明模式和多個傳感器，以幫助識別缺陷。4D 3101映射工具使用宏缺陷審查來評估晶圓是否存在可能導致資產故障的汙染。CDS 3001晶圓清洗模型使用粒子轟擊技術清洗顆粒晶圓。Cleaner Checkstation使用四點測量程序來檢查晶圓清潔過程之前、期間和之後的汙染程度。除了基於軟件和硬件的平臺，TENCOR 6420還利用Quality Manager軟件。Quality Manager是一種過程控制工具,允許制造商創建、實施和監視制造過程。此軟件使用戶能夠減少可變性並增加晶圓功能。總體而言，6420是一種綜合性設備，為半導體制造業的測試和計量提供了完整的解決方案。它使用戶能夠創建質量控制協議、測量和分析晶片以及清潔晶片以減少汙染。借助該系統，廠商可以提高產品產量，降低成本和生產時間，提高盈利能力。