二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293754476 待售

KLA/TENCOR 6420是為高效納米級缺陷分析、表征和修復而設計的先進晶圓測試和計量設備。它具有一套集成的高級硬件和軟件技術,可準確識別、定位和隔離晶片中200毫米以下的缺陷粒子。該系統由多個子系統組成,通常包括主機、數據采集硬件和軟件、視覺系統以及缺陷分析和修復軟件。主機可以是任何奔騰級PC，RAM最少512 MB。數據采集硬件和軟件捕獲測試結果,並提供高級缺陷大小、分析和隔離功能。視覺單元自動捕獲每個晶片的照相圖像，以提供任何檢測到的缺陷的精確細節。缺陷分析和修復軟件采用多種計量技術來自動檢測、定量、定位和隔離晶圓上的缺陷。先進的光學機構保證了KLA 6420機器的可靠性和準確性，其中包括自動聚焦和非接觸式檢查，以調整光學器件的精確對準和顆粒尺寸。此外，該工具的光學器件還配備了兩臺數碼自動對焦相機，用於創建晶圓的三維圖像。TENCOR 6420資產上的缺陷分析和修復功能對平臺上的晶圓進行原位成像，並自動進行缺陷隔離、分析和表征操作。該模型還包括高級計算算法，以確保準確的缺陷識別、定位和隔離。6420設備還包括一套綜合的實用程序，如配方管理系統、缺陷跟蹤單元、缺陷分類和定量分析功能、綜合統計分析、文件存檔功能等。此外,該機器還具有用於遠程管理測試操作的高級作業管理工具。總體而言，KLA/TENCOR 6420是一種功能強大且可靠的晶圓測試和計量資產，旨在實現高精度和高精度。其集成的軟硬件技術套件，結合先進的光學、視覺系統以及缺陷分析和修復功能，使得該模型成為高效高效的納米級缺陷分析和表征的理想之選。