二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293766824 待售

KLA/TENCOR 6420晶圓測試和計量設備是世界領先的生產線-微型檢測工具,有助於確保半導體器件符合要求的規格。它提供了高度精確、自動化的在線測量和檢查、高速模式識別、用於參數篩選的電氣計量以及用於過程分析的缺陷隔離和分類。KLA 6420晶圓測試和計量系統徹底改變了半導體制造商測試和監測制造過程的方式。該單元結合了檢查和計量功能，在檢查或計量點生成每個設備的圖像以獲取反饋。它支持多種工藝技術,包括光掩碼、薄膜測量、層對層檢查、缺陷分類、蝕刻過程監控、叠加、內存缺陷分析等等。自動化子系統確保了每個批次的正確對齊和識別,同時機器還提供了一個自動化整個檢查過程的集成晶圓級測試。TENCOR 6420通過檢測以前可能沒有註意到的微妙缺陷,幫助提高生產產量和降低總體制造成本,從而提高產品質量和客戶滿意度。其精確測量和高精度提高了器件性能，提高了產量，提高了經濟性能。該工具具有用戶友好的界面，使設備制造商能夠快速配置和定制測試和儀器設置，從而消除了繁瑣的設置和校準時間。其高速特寫測量能力為識別基本缺陷機理提供了詳細的分析，可提供蝕刻過程控制、層對層檢測、復雜薄膜測量、層叠缺陷分析和先進計量等方面的綜合信息。6420上提供的高級圖像分析技術有助於通過識別所有大小的特征（即使是預期大小的百分之十的特征）來減少錯誤調用。由於資產的多用途、多層次的邊緣從動算法,線緣一致性也得以實現。這一切都有助於建立一個高度可靠的模型,從而提高生產率、降低成本並實現生產的全面改進。