二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767201 待售
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KLA/TENCOR 6420是業界領先的晶圓測試和計量設備,旨在快速準確地測量半導體器件的特性。該系統結合了先進的光學、數字成像和觸摸屏技術,為用戶提供了一個全面的晶圓測試和分析平臺。KLA 6420堅固的光學器件能夠捕獲晶圓表面特征的高分辨率圖像,並支持測量和故障分析。晶圓可以測量到+/-2um(微米)的公差或更好的公差,從而為操作員提供確定設備性能的優越數據。TENCOR 6420的用戶界面基於19英寸觸摸屏顯示屏,為計算機的運行提供直觀的菜單驅動單元。除了標準控件外,該工具還具有可定制的用戶菜單和拖放圖像比較功能。憑借其強大的車載成像,6420允許用戶檢測晶圓表面上的亞微米缺陷,並相應方便維修。該單元包括一個高功率變焦和一個高分辨率能夠成像晶片具有2um/像素或更少的線性分辨率。對於特定設備功能的高級分析,KLA/TENCOR 6420還集成了自動圖像比較功能。此關鍵特征允許直接比較圖像以進行微妙的更改或測量關鍵尺寸,從而使操作員具有更高的準確性。此圖像比較功能還使用戶能夠輕松查看生產運行期間設備制造的進度,並確定可能影響性能的任何重大更改。對於晶片測試和計量操作,KLA 6420包括一個集成的粒子分析包,使操作員能夠以不引人註目的精確度檢測和量化晶片上的汙染物。這一強大的功能提供了詳細準確的顆粒數據,可用於驗證工藝清潔度、控制法寶產量、監控產品質量。此外,TENCOR 6420還配有廣泛的選項和附件,包括自動化晶圓級和自動化視覺系統。晶片級允許自動晶片加載、定位和定向,而視覺資產可用於實時檢查晶片的表面特征。6420提供了先進晶圓測試和計量的綜合平臺,為用戶提供尖端圖像分析和粒子測量功能。KLA/TENCOR 6420憑借其直觀的用戶界面、高分辨率成像以及突破性的計量工具,為用戶提供了一個用於高級晶圓測試和測量的強大工具。
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