二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767210 待售

KLA/TENCOR 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體工業。它能夠測試和測量晶片的光學和電性能，並為分析提供準確和可重復的數據。SurfScan 6420配備了兩個主要組件-WaferOptics™激光光學掃描級和Scanpath™掃描控制器。該WaferOptics™是一個高速、穩定、線性的掃描階段，旨在精確、重復地測量表面拓撲數據。其編碼器分辨率為0.15微米，每軸可重復性± 0.01微米。Scanpath™掃描控制器包含用於解釋曲面輪廓數據並將其轉換為有意義的度量的專有算法。該系統能夠產生非均勻性映射、性能映射、叠加結果和其他晶圓曲面數據等指標。該單元還包括幾個附加組件，如Zoom Optics™模塊，它提供了低壓信號的擴展視圖範圍。還包括一臺最初開發用於KLA 193nm和248nm系統的先進OPC機，允許精確的叠加校準和特征對準。該工具以「head-in-hand」模式運行，這意味著可以在晶圓保持裝入資產的同時進行測量，允許用戶在同一晶圓上進行多次測量，而不會損失定位或時間。在硬件和軟件方面，KLA 6420 Surfscan配備了奔騰4處理器、Windows 7操作型號、雙頭顯卡、16 GB RAM和32 GB硬盤。該設備還包括用於遠程訪問和與其他TENCOR系統通信的以太網連接。該設備與各種類型的客戶軟件和界面兼容，用於分析和自動化。最後，TENCOR 6420 Surfscan完全具備定量缺陷檢測和叠加計量的能力。該設備利用先進的缺陷計量算法和光學成像技術，能夠更靈敏度和準確性地檢測和分類缺陷。與傳統的成像和晶圓測試系統相比,這為用戶帶來了更多的信息,使他們能夠做出更好、更高效的決策,從而影響他們的底線。