二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767212 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種自動化、非接觸式晶片測試和計量設備,旨在測量、分析和繪制各種晶片表面的結構特征。該系統為包括晶片級光刻、電阻率測量、缺陷分類、薄膜計量和MEMS晶片計量等應用提供了解決方案。KLA 6420 Surfscan利用先進的成像技術,使設備能夠精確測量和分析納米級晶圓結構。該機器能夠測量到0.5nm,並且具有高達8MHz的像素時鐘速度。TENCOR 6420 Surfscan的16位數字成像陣列采用填充系數高達90%的8-MP CMOS圖像傳感器,實現了TENCOR 6420 Surfscan的特征檢測功能。這使得數字成像的動態範圍大大高於其他系統。6420 Surfscan除了具有成像能力外,還包括強大的圖像處理算法,以啟用晶圓缺陷檢測。它具有用於檢測低對比度特征的高級算法,可用於測量工藝參數。該工具能夠識別50種特征類型並執行30項參數測試。這些特性允許快速準確的晶圓測量和缺陷識別。PROMETRIX 6420 Surfscan還具有高速數據采集資產,每小時最多可處理10,000個晶圓。此外,它的通信功能允許遠程訪問、控制和分析收集的數據。它的自動化視覺功能還能夠快速識別、分析和報告缺陷特性和其他晶圓特性。總體而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是晶圓測試和計量任務的理想工具。其先進的成像功能、自動化的視覺功能和高速數據采集模型使其成為計量、缺陷分析和光刻等應用的理想選擇。其用戶友好的界面和遠程訪問功能使其易於使用,並允許進行全面的分析和數據管理。
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