二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293776063 待售

KLA/TENCOR 6420 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量設備，為晶圓表面表征提供高精度測量。它是一種無損計量系統，能夠在半導體和光掩模檢測應用中實現高產率和優異的缺陷檢測。該裝置利用亮場共聚焦掃描顯微鏡（CSM）技術，在三個維度下測量半導體晶圓表面，分辨率低至0.125 µm。定制設計的x-y-z掃描儀可對晶片的整個區域進行高速掃描,通常為8 ″、12 ″或16 ″。對掃描儀的光學機械設計進行了優化，以最大程度地減少圖像失真、噪聲和漂移，使其成為精確、可重復測量的理想選擇。它配備了彩色CCD和數字線路陣列傳感器等高分辨率相機選項陣列。KLA 6420 Surfscan利用先進的混合數字信號處理器,提供強大的計算體系結構以及專用的硬件和軟件模塊。專用的硬件和軟件模塊能夠快速處理測試數據、檢測缺陷以及測量缺陷分布。該工具還具有多種操作模式,使客戶能夠在其特定應用程序中使用多種類型的圖像分析算法。數據采集是靈活的，使高采樣率能夠準確地表征子微米結構。6420還包括3D表面渲染和動畫地形電影等高級可視化功能。這使客戶能夠創建可視化,清楚地顯示缺陷和非均勻性的幾何形狀和大小。該資產還包括各種功能強大的缺陷識別和分析軟件工具，使其成為一種通用的計量解決方案。TENCOR 6420 Surfscan為高精度晶圓測試和計量提供了功能強大、可靠且用戶友好的解決方案。憑借其先進的CSM技術、高分辨率相機選項和數字信號處理器,該型號實現了快速準確的缺陷檢測以及高度詳細的晶圓表面特性。它還具有先進的可視化功能和廣泛的軟件工具,使其成為真正全面的晶圓測試和計量設備。