二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293777614 待售

KLA/TENCOR 6420 Surfscan是一種用於高容量晶圓工藝和屈服可靠性的晶圓測試和計量設備。該系統既提供高速、有力的測量，又自動化從芯片到晶圓再到統計分析的整個測試過程。KLA 6420 Surfscan是KLA/TENCOR系列晶圓測試系統中的最新產品,能夠向各種晶圓類型提供精確的無損檢測測量。TENCOR 6420 Surfscan利用線性陣列技術檢測過程缺陷，如晶圓表面的粒子和粒子相關缺陷。它配備了集成的後表面相機，用於檢測晶圓後表面的粒子。為了精確檢測缺陷，6420采用了TENCOR專利的光學表面計量技術，利用AlphaTestTMTM測量算法優化了粒子與周圍環境的對比度。此外,6420 Surfscan還提供多種功能,包括采樣率控制、圖像質量控制和粒子頂點。KLA/TENCOR 6420 Surfscan旨在滿足半導體晶圓加工中出現的大容量需求。它具有快速、精確和適應各種晶圓類型的特性,並具有用於從三維特征捕獲詳細尺寸信息的輪廓特征。此特征用於測量形狀特征,如高度和曲率。為確保數據準確，KLA 6420 Surfscan還使用自己的統計分析過程對一個輪廓進行分析，使其能夠確定晶圓表面什麼是正常的或不均勻的。TENCOR 6420 Surfscan的探測單元最大限度地降低了檢查時晶片損壞的風險。對晶片進行多次掃描，以確保對整個晶片進行準確的測量。此外,該機器還提供各種缺陷審查和分類功能,從而能夠快速識別和分類現場的缺陷。這有助於快速識別流程問題並加快決策速度。6420 Surfscan是半導體制造實驗室的必備產品,因為它具有強大的準確性和可靠性。KLA/TENCOR 6420 Surfscan以其快速的測量、快速的缺陷審查和分類過程,為生產晶圓測試提供了最可靠的晶圓測試和計量方法之一。