二手 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #9180714 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan平臺是一種多合一、高精度的晶片測試和計量設備，用於表征半導體晶片的電性能和地形特征。它旨在幫助提高流程產量、提高流程控制並確保設備性能。KLA 6420 Surfscan系統構建在模塊化平臺上,需要一個復雜的閉環原位測量單元。該儀器集光學計量、非接觸式電氣測量、晶圓檢測於一體。它同時測量晶片上多達5個位點的電性能和晶片地形。TENCOR 6420 Surfscan機由KLA InSight技術提供動力，這是一個綜合了掃描電子顯微鏡、共聚焦顯微鏡、定量表面計量和電氣測量的計量平臺。該技術提供高分辨率、全面的測量，量化晶圓的電性能和表面形態。該工具還能夠在晶圓上的多個位置同時進行測量。利用Prometric 6420晶圓模塊對電性能進行原位電測量。此模塊能夠在晶片上進行非接觸式低力原位電氣測量,直徑甚至可達4英寸。該模塊可以測量晶片上的高頻和低頻信號，以識別電荷放電電壓、電流通路、表面電阻率、介電常數、泄漏和電容等電氣參數。6420 Surfscan的光學計量能力在晶圓上提供精確精確的地形和表面剖面。本模塊使用一套專有的光源和精密光學器件來精確測量表面粗糙度、表面紋理和晶圓厚度。它還能夠對晶圓的表面和高度輪廓執行高功率和低功率計量掃描。集成的光學和電氣晶片檢查掃描為用戶提供有關晶片中任何異常或缺陷的詳細數據。資產的視覺缺陷分析對晶圓表面進行了完整的270度自動檢查，以查找任何異常。汙染物或缺陷可以在過程中進行識別、分類和跟蹤。TENCOR PROMETRIX 6420 Surfscan平臺是一種通用的晶圓測試和計量模型,能夠提供準確、全面的電氣和計量分析。它使制造商能夠確保其晶圓的正確電氣性能和地形特征,最終提高工藝產量和設備性能。