二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9256586 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一款創新的掩模和晶圓檢測設備，旨在為半導體行業帶來更好的分辨率、更高的吞吐量以及卓越的缺陷檢測和分析。新系統通過提供更快的上市時間和促進更高效的運營,幫助客戶保持競爭力。KLA SP1 DLS是一種雙面晶片和掩模檢查工具。它具有一流的5倍分辨率成像、高速吞吐量和專有的基於區域的分析技術。該設備使客戶能夠在亮場和暗場成像模式下以4 nm分辨率快速準確地檢測設備或掩碼級別上的缺陷。TENCOR SP 1-DLS包含兩個主要要素：多頭光學機器及其專有的實時叠代回顧（RITR）算法。光學工具由13個獨立移動的探測器頭組成，具有獨特的光學和傳感器設計，以便在盡可能短的時間內獲得最準確的數據。它還包括光學元件和視野廣闊的高分辨率相機，用於檢測非常小的缺陷。同時，RITR算法為客戶提供了革命性的精度和吞吐量水平。該算法將缺陷檢測、分類和分析集成到一個同時進行的雙向過程中，幫助客戶發現甚至最難發現的缺陷。此外,SP1 DLS是唯一具有高級缺陷審閱叠代（DRI）的雙面資產,這是一項將缺陷審閱提升到下一級的新技術。DRI允許用戶對同一樣本快速應用多組參數，從而更容易診斷和糾正在一小部分時間內發現的任何缺陷。此模型還包括圖像增強和數據挖掘功能,使客戶能夠深入了解其設計的整體結構完整性。總體而言，TENCOR SP 1 DLS是一款功能強大、可靠的掩模和晶圓檢測設備，可幫助客戶節省時間和金錢，保持競爭力，享受卓越的缺陷檢測和分析。它提供了高質量的成像和高速吞吐量,從而加快了上市速度,其先進技術確保了結果的準確性和可靠性。