二手 LEITZ LIS #9283430 待售

LEITZ LIS（Laser-Enhanced Image Metrology設備）是一種晶圓測試和計量系統，用於以微米或納米尺度分析半導體晶片或晶圓的表面。該單元對高度復雜的半導體器件的形狀、結構和功能提供了強大、復雜和準確的分析,並且可以執行各種測量,包括檢測和表征表面地形、紋理、表面汙染、缺陷和叠加精度。LIS是基於光學共聚焦顯微鏡以激光幹涉為主要傳感器的組合。共聚焦顯微鏡利用高分辨率激光束以高達0.2µm/像素的分辨率掃描晶片表面。激光幹涉和剪切技術使用兩個激光束測量表面的相對高度。該機采用高速圖像處理算法計算三維（3D）曲面形態，導出曲面輪廓、步高、結深、叠加精度等關鍵參數。可以使用針對特定應用程序的自定義模塊來擴展工具的分析功能。這些模塊使用戶能夠測量不同的參數,例如表面粗糙度、表面缺陷分類、粒子檢測或電阻率分析。LEITZ LIS資產還具有收集、顯示和分析實時數據的強大軟件。直觀的用戶界面提供了一系列高級分析選項以及導出和存儲數據以供以後查看和比較的能力。此外,用戶可以從任何計算機遠程訪問模型,從而能夠從任何位置監視和控制分析。LIS是一種高度通用和可靠的設備,用於許多研究、開發和生產應用。憑借其高圖像分辨率和精確的3D測量，系統使用戶能夠輕松、精確地分析復雜的微米和納米尺度特征。這使得它成為表征和驗證現代半導體器件質量的理想工具。