二手ASML PAS 5500 / 850D待售

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ASML PAS 5500 / 850D #293820736
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Stepper.
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ASML PAS 5500 / 850D #293817847
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PAS 5500 / 850D

Stepper Numerical Aperture (NA): 0.55~0.80 DCO:  15 MMO: 25 Resolution: 110 nm Throughput (WPH): 145
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