二手 LAM RESEARCH 9400 #9225455 待售
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已售出
ID: 9225455
晶圓大小: 8"
Etchers, 8".
LAM RESEARCH 9400是一款全自動的高性能蝕刻和asher設備,設計用於半導體晶片的高精度蝕刻和清洗。9400支持非常快的過程時間,是高吞吐量生產的理想選擇。該系統由一個大體積的水平腔室和石英氣體分配板構成,允許等離子體均勻分布在晶圓表面上。LAM RESEARCH 9400還擁有先進的射頻匹配網絡,可提供最高的功率效率並確保最佳的等離子體均勻性。9400的設計旨在最大限度地減少過程變量的數量,優化深度蝕刻和模式傳輸應用的蝕刻吞吐量。該裝置還利用精確控制的靜電卡盤進行自動校準和精確的晶圓夾緊。其脈沖電容耦合等離子體(PCCP)技術具有獨特的掃頻有源氣流控制機,可在多個晶圓直徑上提供穩定、高均勻度的蝕刻工藝。此外,LAM RESEARCH 9400采用現場監控和兩級輸入功率控制,以確保實時過程控制和可重復性。該工具為關鍵蝕刻過程提供了極高的等離子體蝕刻速率、均勻性和可重復性。其先進的控制環路監測和控制策略可確保在蝕刻過程中輪廓的準確一致性,即使對於要求最苛刻的過程窗口也是如此。該資產還具有很高的可擴展性,以適應最廣泛的蝕刻應用,從小型研發工作到批量生產過程。總體而言,9400是業界領先的蝕刻器/asher型號,具有先進的特性和功能,使制造商能夠實現更快的吞吐量、更高質量的產品和更高的成本效率。LAM RESEARCH 9400憑借其先進的控制系統、原位監控和精確控制的靜電卡盤,是滿足任何半導體蝕刻和清潔需求的絕佳設備。
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