二手 LAM RESEARCH A4 9400 #9127504 待售

LAM RESEARCH A4 9400是一款高級蝕刻器/asher,旨在為用戶提供多用途且經濟高效的解決方案,用於復雜的成型和陣列應用程序。A4 9400具有先進的功能,如集成的射頻發生器、高壓工藝室以及在蝕刻配方和灰度配方之間輕松切換的能力,是半導體制造商和研究實驗室的理想選擇,因為它們需要可靠的中負載蝕刻器/灰度,以滿足其多用途的離子處理需求。LAM RESEARCH A4 9400的創新設計包括一個高壓工藝室,其底壓大於1x10-4 torr,使用戶能夠針對任何蝕刻和沈積變化實現最佳工藝性能。這個先進的腔室還允許通過使用eSFOC-高壓泵送技術，達到1x10-6 torr的峰值實用背景壓力。集成到A4 9400中的高效射頻發電機提供高達500 w的大量功率，使用戶能夠產生更高的射頻等離子體密度。這種射頻功率允許用戶以較低的材料損耗和充電中和效率生產較厚的薄膜，從而產生更高的工藝產量和更緊密的圖樣公差。LAM RESEARCH A4 9400還提供了多項安全功能，如可啟動的清洗系統以確保清潔操作，以及為保護附近人員和設備而設計的射頻防護系統。此外,A4 9400還配備了符合人體工程學設計的工業工作單元,允許用戶在蝕刻或粉刷工件時輕松高效地放置工件。除了卓越的性能，LAM RESEARCH A4 9400還提供了簡單的配方切換和高處理速度。它可以在短短2秒內從蝕刻轉換為ashing食譜，允許用戶快速改變食譜配方以適應自己特定的工藝需求。A4 9400還使用戶能夠實現高達4,500晶圓每小時的處理速度，從而實現快速高效的運行。LAM RESEARCH A4 9400是一款可靠、用途廣泛的中負載蝕刻器和灰化器，滿足了半導體制造和研究行業的需求。A4 9400憑借其先進的蝕刻和灰度處理能力、強大的射頻發生器、高壓工藝室、簡單的配方切換以及高速處理，是離子處理應用需求的理想解決方案。