二手 KLA / TENCOR Archer AIM Plus #9023783 待售
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ID: 9023783
Overlay inspection systems.
KLA/TENCOR Archer AIM Plus是一款用於半導體制造過程的先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統能夠識別集成電路的掩模或晶圓制造中的缺陷,包括與平版印刷、計量和平面化有關的缺陷。它是同類設備中唯一能夠自動檢測和精確測量納米顆粒和其他非光刻缺陷的設備。KLA Archer AIM Plus是一個自動化的集成單元,由多個子系統組成。其中包括用於識別平版印刷和非平版印刷缺陷的自動光學檢測機(AOI)、用於測量小缺陷的高分辨率顯微鏡以及用於測量線寬偏差等參數的計量工具。此外,該資產還包括一個高級數據分析和可視化工具包,用於分析檢查模型獲得的圖像,以便識別、評估和防止產量限制問題。AIM Plus的設計目的是提供高精度、無損的檢查,能夠快速檢測和測量小至3nm的缺陷,從而提高半導體器件的產量。此外,該設備還能夠檢測到粒子、均勻性和其他可能不會被發現的非光刻特性。AIM Plus先進的計量能力提供了對關鍵納米電子光刻工藝的精確控制,如圖樣繪制和光刻邊緣放置。AIM Plus速度極快且可靠,使它能夠在短短25秒內一次通過就評估出一個完整的8英寸晶圓。此外,系統的用戶友好界面確保了易於操作的單元,從而減少了操作和維護的時間和成本。憑借強大的計算能力,AIM Plus能夠快速安全地傳輸大量數據,為生產優化程序實時提供了寶貴的見解。總體而言,TENCOR Archer AIM Plus是一種先進而強大的掩模和晶圓檢測解決方案,能夠提高半導體制造的產量和降低生產成本。它具有高度通用的高級特性和功能,使其成為質量控制和過程監控的可靠解決方案。
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