二手 EBARA UFP 300A #9228100 待售

EBARA UFP 300A光刻設備是一種超精密的高性能調制器，用於先進的無掩碼光刻應用。該系統可在大面積的基板上實現非常高分辨率的成像-低至單個微米特征大小。它具有極快的響應時間,沈降時間僅為50納秒,可精確定位和調節成像光束。EBARA UFP-300A使用功能強大的基於FPGA的單元進行控制,該單元允許高效定位掃描光束以及數據采集和處理。機器使用高靈敏度光敏電阻檢測掃描光束產生的紫外線，然後相應地調制光束以達到所需分辨率。這種光刻工具還允許掃描光束的自動對準，以確保整個基板表面的均勻和高分辨率的曝光。UFP 300A配備了最新的除塵技術，可以在潔凈室環境中操作。資產附有一系列附件，如過濾器和排放收集器，以確保最大輸出和質量。該車型還配備了全套安全功能，包括互鎖，以防止基板意外暴露在光束上。UFP-300A是為滿足最復雜的無掩模光刻要求而設計的。其高精度的對準設備，加上超快的響應時間，使得在大面積上的分辨率非常精細。這使得它成為需要極高光刻精度的制造工藝的理想解決方案。