二手 AIXTRON G5 #9225886 待售

AIXTRON G5是一種高溫多矽反應器，用於矽基材料的沈積過程。它由AIXTRON開發和制造，AIXTRON是半導體和電子工業沈積系統的領先供應商。AIXTRON G5反應堆的設計目的是提供可靠和經濟高效的沈積工藝。它適用於多種材料的薄膜沈積，包括：二氧化矽、氮化矽、矽零、氧化鋁、催化氧化物和氮化鋁。G5反應器利用一個放置底物的圓柱形石墨敏感器。然後用反應堆內的兩個紅外燈加熱敏感器，產生高達1250°C的工藝溫度。使用PID溫度控制控制工藝溫度,同時使用板載控制頭調節精密沈積速率。此外，閉環過程控制系統采用多點溫度監測，提供精確、均勻的溫度分布。這確保了每個工藝周期中可重復的基板溫度。G5還具有一系列分析工具和全自動流程序列。在過程的每一步，都可以監控和控制溫度、壓力和過程時間等眾多參數，從而實現一致和可重復的結果。原位前體劑量系統允許精確劑量精確計量到反應堆中，確保均勻精確的沈積。AIXTRON G5反應堆能夠容納各種基材尺寸和形式，包括：圓形、矩形、橢圓形甚至不規則多邊形。此外，它可以達到高達7nm/min的沈積速率，並且在利用前體材料方面效率很高，將廢物排放量降至最低。為確保取得一致的結果，包括傳感器集成探測器在內的各種保障措施已經到位，以監測該過程並保護反應堆免受潛在損害。AIXTRON G5反應器為薄膜矽沈積提供了可靠高效的平臺。它能夠提供一致的結果，適用於半導體和電子領域的廣泛應用。