二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114611 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactor是一種多區薄膜沈積設備，用於制造先進的半導體集成電路。該反應堆設計為提供高通量晶圓加工、工藝靈活性和高精度。該反應堆利用四個電獨立區提供卓越的系統性能，使晶圓工藝具有靈活性。四個區域中的每一個區域都包含一個來自ICP等離子體源的高溫感應耦合等離子體（ICP）。ICP源允許反應堆在高達1000 °C的底物溫度下運行，從而能夠加工高溫金屬和合金。此外,四區體系結構允許在單個晶圓上實施多個過程配方。例如，一個晶片可以有四層不同的不同材料，全部在同一個反應堆中加工。AMAT Centura DxZ Reactor的特點是晶圓傳輸單元具有高速機械臂。這臺機器提供卓越的吞吐量、精度和可用性，並允許反應堆每小時處理多達180個晶圓。反應堆還設有全套流程監控系統，包括軟件控制、數據記錄和圖形顯示。該軟件允許用戶在整個過程中控制、監控和優化反應堆的性能。該反應堆的建造具有卓越的可靠性和可重復性。該工具的設計符合嚴格的安全和環境標準，對汙染物具有很高的耐受性。此外，反應堆利用質量控制資產來確保該過程是可靠可重復和可重復的。APPLIED MATERIALS Centura DxZ是市場上最先進的薄膜沈積反應器之一，能夠實現最先進的半導體器件的快速開發和經濟高效的生產。Centura DxZ Reactor具有卓越的吞吐量、靈活性、可靠性和準確性,是半導體行業制造商的首選解決方案。