二手 MRC 693 #9179537 待售
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MRC 693是為等離子體增強沈積過程而設計的緊湊型濺射設備。它是一個三區濺射系統，具有一個翻轉負載鎖和一個集成的預疏散室。該裝置采用標準的300毫米（12英寸）基板支架,帶有適合用途的波紋管組件,最多可支撐8個直徑可達114毫米（4.5英寸）的目標。一個緊湊的工藝室配有400S系列濺射電源和為高沈積控制和基板均勻性設計的ICP射頻（RF）電源。該腔室還具有圓柱形、可傾斜、真空外載荷鎖定功能，便於基板載荷和卸載，以減少循環時間。693的底壓由於其直線運動的O形圈密封機和整體冷卻加熱系統而非常穩定。其氣體處理工具包括入口冷卻資產和氣體循環模型。渦輪分子泵是其主要的真空泵，它允許設備在2700升/秒的渦輪轉速下達到10^-7托的工作壓力範圍。MRC 693使用高度直觀的用戶界面進行控制和監控。它使用戶能夠自定義和自動化操作參數,並有效地優化流程。基於觸摸屏的界面還允許對濺射功率、沈積速率和射頻功率進行精確調整。它的智能反饋控制環路確保了系統的高精度和可重復性。作為一種安全措施，該裝置被安置在兩層鋼制機櫃中，以防止任何有害的X射線。機器還配備了一個安全開關，在任何緊急關機情況下切斷設備的所有電源。總之，693是一種高度通用和節能的濺射工具。它的可靠性和直觀的控制使得它成為各種濺射過程的完美選擇。
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