二手 SPEEDFAM 9B #293661598 待售

SPEEDFAM 9B是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，提供最先進的設計和性能。SPEEDFAM 9 B系統在多任務半導體晶圓加工和精加工過程中采用了一系列特性和技術，包括扁平研磨、平滑、最終拋光和研磨。9 B單元采用1200 rpm主軸電機,帶有液壓靜止軸承,可實現長期、無振動、精確的晶圓加工。電機能夠容納6「至12」的主軸高度範圍。這臺機器還采用了雙接頭臂設計，可以更輕松地控制裝卸，同時降低傳統接頭臂設計中的氣質靈敏度。該工藝包括使用金剛石磨輪和研磨板。金剛石研磨板被設計用於晶片的整體回薄和加工其他難以加工的表面。精細的研磨板和金剛石磨輪以及水溶性潤滑劑可提供均勻一致的表面光潔度。9 B工具易於使用和設置。它配備了一個直觀、用戶友好的觸摸屏界面面板,允許用戶控制重要的過程參數,如研磨路徑、研磨壓力、表面光潔度和運動控制。由於SPEEDFAM 9B集成了高速運動控制資產以及速度和扭矩的動態數字控制,因此具有非凡的性能。這種模型保證了重復的、高度精確的晶圓加工，這是無法實現的手動研磨和拋光機。SPEEDFAM 9 B是考慮到最終用戶而設計的可靠設備。由於9 B直觀的操作控制軟件允許操作員監控過程中的度量和跟蹤過程數據,因此數據收集和性能監控得到了高度簡化。然後以電子方式存儲收集的數據，以便進行詳細分析和長期改進。綜上所述,9 B是晶圓研磨、研磨和拋光系統,與傳統系統相比,其性能、速度和精度均有所提高。強大的設計、直觀的界面、簡單的設置和先進的速度控制使得SPEEDFAM 9B成為一個全面的晶圓處理解決方案。