二手 ASML PAS 5500 / 850D #293817847 待售

ASML PAS 5500/ 850D是一種用於半導體器件制造和光刻加工的最先進的晶圓步進器。它具有雙級光學設備和大量可選的光學配置,可實現多種晶圓成像功能。該系統使用先進的光學元件，能夠實現高精度和可重復性，包括微光刻，以及極紫外線（EUV）光照。該裝置的設計使其成為執行光刻的最高效、最強大的工具之一,使其成為要求苛刻的半導體器件的理想解決方案。基本機器由兩個階段組成：一個掃描階段，掃描掩模以投射所需的模式；另一個暴露階段，晶圓通過掩模暴露於紫外線。刀具的五軸運動級提供高達1微米的運動精度，允許精確的光束對準，即使在最高分辨率水平。該資產利用多個高級功能來提高圖像質量和減少成像時間。它具有超高分辨率光電探測器,可確保準確的數據收集和後續處理。它還具有堅固的EUV光源，能夠為高長寬比（HAR）圖樣和深紫外線成像提供正確的能量。液晶顯示器（LCD）投影模型為操作員提供視覺反饋，便於操作和調整，以確保準確和可重復的結果。設備使用自動化材料處理系統來管理整個成像過程中的晶片和掩碼。這包括用於晶片裝卸的集成系統，以及將樣品和口罩轉移到曝光階段的機器人。此外，還提供全面的軟件解決方案，以控制、管理和監測陣容、鏡頭選擇、圖案、曝光和其他操作參數。PAS 5500/ 850D是一種通用工具，可用於多種不同的應用，如單掩模成像、雙掩模成像、短晶圓挑戰、模式叠加等等。該系統非常適合商業、工業和研究環境，提供快速和準確的結果，以協助復雜的光刻工藝。無論目標是生產高性能芯片,還是探索新的平版印刷功能,ASML PAS 5500/ 850D都具有交付能力。