二手 LAM RESEARCH Alliance A4 #9114097 待售

LAM RESEARCH Alliance A4是一款先進的蝕刻/灰分處理解決方案。它是LAM RESEARCH「全離子」產品組合中的旗艦產品,用於解決具有挑戰性的蝕刻/灰分應用。與前代產品相比,該產品的設計可提供更高的速度和更好的均勻性。它是一個可配置的串聯系統，能夠蝕刻和粉刷一系列具有最高程度的過程控制和可重復性的基板。它具有較大的腔室尺寸,能夠容納大的基板尺寸,對角線尺寸可達11英寸,以實現高通量生產。Alliance A4配備了高性能等離子體源，即使在高源電壓下也能產生低能等離子體。它可以在不影響速度或工藝參數的情況下實現跨蝕刻/灰分工藝的出色均勻性。其可配置的源設計允許修改離子源的形狀和位置，以更好地適應基板或工藝要求。它具有獨特的「反應性離子蝕刻」功能，非常適合深度蝕刻或高選擇性應用。這允許使用遠程離子控制在垂直方向上進行極其均勻的處理。LAM RESEARCH Alliance A4還具有廣泛的工藝控制和監控選項，如端點檢測、蝕刻後/灰燼分析、基板加熱和冷卻、高分辨率ChamberView系統以及完全集成的工藝控制序列。它還能夠處理單晶片和集群工具中的基板，以提高生產率。Alliance A4旨在為最困難的蝕刻/灰分工藝最大化產量並提高吞吐量。它可以輕松地與晶圓晶圓廠自動化系統集成在一起,旨在以最小的停機時間和更高的生產率運行多個操作。該系統采用堅固的材料構建,在所有條件下均具有卓越的性能和可靠性。利用這些功能,LAM RESEARCH Alliance A4可以幫助客戶實現最高的產品和工藝質量。