二手 VARIAN E220 #9069279 待售
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已售出
ID: 9069279
優質的: 1999
Ion implanter
Soft Ver. Ver 12.2
Gas Box HP Gas Box
Auto Decel YES
Scan Post Scan Chamber
Scan Generator TERK Power Supply
Wafer Size 8 Inch
Wafer Clamp ESC
Cryo Pump Chamber - CTI
Load Lock Pump CTI Cryo Pump(CT250F)
Compressor 8500
Wafer Handler Standard Type
Main Monitor LCD
Exhaust Box Standard
Roplat Cable Standard Type
Source Head Bernas
Turbo Pumps:
Ion Source: Pfeiffer TMH101P
Analyzer: Pfeiffer TMH260
Beamline: Pfeiffer TPS301
Dry Pump:
Ion Source: Edwards iQDP80
Stage: Edwards iQDP40 + QMB250
Load Lock: Edwards iQDP80
Bas Bottle #1 PH3 - SDS
Bas Bottle #2 AsH3 - SDS
Bas Bottle #3 BF3 - High Pressure
Bas Bottle #4 Ar - High Pressure
Gas Interlock:
Leak Current
Exhaust
Gas 2nd High Pressure
Currently warehoused
1999 vintage.
VARIAN E220是一種離子植入器和監控設備,提供高精度的離子植入,為晶圓和基板創建多種植入型材。VARIAN E-220旨在提供一致的可靠性能,能夠處理各種晶圓尺寸和基板。該系統有一個離子源,該離子源由具有延長使用壽命的六硼化LaB6槍組成。該槍懸浮在真空室中,由計算機控制的電源和電網調節器操作,以實現最佳的離子註入條件。該單元還包括互鎖、壓力傳感器、數字電流表等離子植入監控組件,以確保準確、可重復的植入。E 220可精確控制植入劑量率和分析物大小,保證有效、準確的植入.該機器允許最多10個獨立的腔室,能夠應用從0.0005英寸到0.8英寸厚的植入輪廓。VARIAN E 220利用高壓精密裝置對離子種類進行註射和提取,導致離子均勻性高,離子植入能量擴散極低。E220還有許多安全聯鎖裝置,包括但不限於在緊急情況下減小腔室壓力,在電源故障時緊急關閉,以及檢測門窗意外打開的腔室聯鎖工具。該資產還配備了粒子探測器,以提醒操作員註意存在的任何危險的、空氣傳播的汙染物。該模型提供了一個用戶友好的界面和廣泛的警報,為用戶提供便利和保護,包括狀態警報、當前警報、運行結束警報、室警報、設備故障警報和序列警報。所有這些警報有助於確保安全和成功的植入過程。E-220提供出色的控制水平和準確性,同時提供出色的用戶友好性和安全性。該系統提供精確、可重復的植入,能夠處理各種晶圓尺寸和基板。該單元還能夠提供長壽命組件,精確的植入控制,以及大量的安全聯鎖。這為用戶提供了可靠、安全的植入機。
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