二手 KLA / TENCOR 2138 #192497 待售

KLA / TENCOR 2138
ID: 192497
Brightfield defect wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2138是一種高性能的自動掩模和晶片檢測設備,設計用於檢測晶片和掩模上的各種缺陷和異物顆粒。該系統采用先進計量和無損檢測技術相結合的方法進行有效檢查。該裝置采用先進的雙傳感器結構,結合了高分辨率顯微鏡成像和掃描激光技術。光學顯微鏡提供了比傳統數字成像技術更大的分辨率和對比度,而激光掃描機則提供了更準確的檢測缺陷的方法。兩臺傳感器協同工作,提供可靠準確的檢測能力。KLA 2138配備了強大的圖像采集和處理軟件,旨在優化缺陷識別和表征。軟件采用邊緣檢測、缺陷識別、自動對焦、圖像增強技術等多種算法,快速準確地識別缺陷和外來粒子,即使在最困難的模式下也是如此。刀具提供各種測量參數,包括尺寸、形狀和位置。敏感資產能夠在不影響底層設備結構的情況下檢測到任何高達12納米和更小的缺陷。它還可以檢測235納米和更小的信號,同時在三個維度上進行測量。TENCOR 2138被設計成一種可靠高效的檢測面罩和晶片的儀器。它提供了無與倫比的檢測缺陷和異物顆粒的準確性和可靠性。該模型能夠檢查各種晶圓尺寸和表面光潔度類型的各種材料。它還能夠執行各種檢查任務,包括故障分析、壽命測試和損壞檢查。它旨在減少對多次檢查的需求,從而降低檢查成本,提高產量和吞吐量。
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