二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #293606162 待售

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ID: 293606162
優質的: 2009
System (3) Chambers 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT(AMAT Producer GT)是為III-V化合物半導體材料沈積而設計的先進分子束外延設備。該系統采用封閉式、全自動配置,具有多種氣體、前體和群集源,支持實時過程控制,是先進工藝開發和一流設備制造的理想選擇。應用材料生產商GT在水平/垂直幾何中提供全晶片工藝能力,可沈積1-10微米均勻光滑、均勻的薄膜。生產GT反應堆具有高度精確、實時的過程控制,可以方便任何厚度的層修改。通過先進的溫度控制,裝置可以進行多步溫度坡道,確保前體材料充分混合、霧化和高效加熱。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT也有石墨敏感器的設計,並有一個氣體加熱的無絲機沈積III-V材料。敏感器被快速均勻地加熱,允許寬廣的溫度範圍,使其成為應用特定生產過程的理想解決方案。除了先進的溫度控制外,該工具還具有氙氣閃光燈和Quartz視口,為單層和多層結構提供了出色的均勻性和過程控制。AMAT Producer GT利用遠程訪問和過程監控軟件進一步優化。它的用戶界面非常直觀,能夠快速設置和配方開發。此外,它還配備了CMP能力,以允許生長後的修改和改進,以及粒子控制,以確保最佳工藝產量。此外,該資產旨在維護安全和環境健康的最高標準。它具有自動清洗模型和氮氣供應,在加工過程中提供了一種μ的、可靠的清潔控制。綜上所述,APPLIED MATERIALS Producer GT是III-V復合半導體材料沈積的理想分子束外延解。它是一種高效、堅固且高度靈活的設備,旨在滿足高級流程要求。
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