二手 VEECO Spector HBDG #293645262 待售
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ID: 293645262
優質的: 1996
Dual ion beam deposition system
Ion beam deposition system
Horizontal beam, dual gun (HBDG)
IBAD Processing
R&D Size
Dry roughing pump for enhanced UV optical film performance
RF Ion sources with PB neutralizers
Standard vacuum instrumentation via ITAVS
Split drum style chamber
(4) Round targets
External substrate rotation
CTI Cryotorr 10IIRC pump
IC4+
(2) Ion 6cm guns
Plasma bridge neutralizers
5" targets
(4) Position water cooled target carousel with gas flood
Substrate stage: 6"
Water cooled
Rotation
90-0-90 tilt
Currently warehoused
1996 vintage.
VEECO Spector HBDG是一種高功率濺射系統，旨在制造出對薄膜厚度、沈積速率和均勻性有精確控制的高質量薄膜。該系統由基室、目標室、高壓電源和真空泵組成。基室是一個長方形的真空室，用於安裝三個磁控管濺射源。濺射源連接到一個能幹的高壓電源，可以精確控制電壓。目標安裝在目標室，其中包含絕緣壁和冷卻的內部架子，以保持目標在低溫。兩個腔室的壓力是通過將腔室連接到兩個可以調整到任何所需壓力的真空泵來維持的。在濺射過程開始時，腔室被疏散到低壓，目標被加熱，直到它們的溫度達到要求的水平。然後將目標暴露在高壓電源產生的強電場中，導致電子被發射。隨著電子到達目標表面，它們導致目標物質的原子噴射，形成電離的等離子體。等離子體隨後通過暴露在高壓下而加速，產生一束朝著基板傳播的離子束。利用光譜儀和其他探測器仔細監測濺射沈積過程。這樣可以調整工藝，以優化薄膜的質量，提高其厚度的均勻性。Spector HBDG非常適合制造高質量和均勻性的薄膜。用於太陽能電池、薄膜晶體管、MEMS器件、顯示技術等多種應用。
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