二手 ASML NXT 1950Ai #9280821 待售
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已售出
ID: 9280821
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
ARF Scanner, 12"
Process: Lithography
CIM: SECS, GEM Inform pro
Hardware configuration: (Fab)
Main system
FOUP
Options:
ART RH Interface
IRL XP
TOP RC 1 & 2
Aux exhaust unit
CYMER Laser
Flex ray
Base liner focus / OL / HOPC
Smash XY
Agile 1
Spotless
Aux load port
Focus improvement package
PEP High dose
Hardware configuration: (Sub fab / Auxiliary units)
CYMER XLR 660 Laser
2012 vintage.
ASML NXT 1950Ai是ASML最先進的晶圓步進器,ASML是半導體制造技術的領先創新者之一。該設備是ASML NXT系列產品的最新產品,具有無與倫比的精度、多功能性和可擴展性,可滿足廣泛的晶圓處理需求。NXT 1950Ai配備了先進的光刻投影光學器件,由超短波、完全穩定的激光元件和四倍單色儀組成。這確保了高度復雜的投影模式的高精度和可重復性,這對於現代晶圓光刻是必不可少的。投影鏡頭還配備了新開發的像差校正系統,以獲得最高的成像質量。機器的特點是具有四個軸的復雜運動單元,使步進器能夠在晶圓周圍精確快速地移動。這使得晶片能夠精確對準投影光學器件,以及調整鏡頭的焦點到晶片表面。ASML NXT 1950Ai能夠在最先進的半導體晶圓生產要求範圍內,將功能尺寸降低到65納米。這是由於激光源的高強度使得光束可以快速傳遞到晶圓。當需要更精細的光刻特性時,它還提供更長的曝光時間。此外,該機器有一個自動對準機器,使晶圓的對準容易和準確。在制造尺寸較小的晶片時,NXT 1950Ai也可用於高分辨率直接寫入(HRDW)過程。這些過程使得晶片可以直接寫到旨在降低平版印刷成本上。最後,ASML NXT 1950Ai可實現最大的正常運行時間和工作效率。它配備了大容量冷卻工具和先進的隔振,以實現一致可靠的運行。此外,所有組件都非常易於訪問和故障排除,從而確保了常規維護所花費的最短時間和成本。總之,NXT 1950Ai是晶圓步進技術的前沿,是半導體生產的有力工具。它為各種晶圓光刻工藝提供了最高水平的精度和準確性,並為生產更精細尺寸的半導體器件提供了直接寫入能力。此外,其堅固的設計確保了可靠的操作和最低的維護成本。
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