二手 KOKUSAI DJ-1205V #9120660 待售

KOKUSAI DJ-1205V
ID: 9120660
晶圓大小: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
KOKUSAI DJ-1205V一種擴散爐及其附件,是一種功能強大的多用途裝置,設計用於基板表面/薄膜沈積處理。它在200°C至1200°C的大範圍內提供卓越的溫度均勻性和穩定性,並具有~ 20kW的高總熱容量。儀器配備石英管、自動裝卸設備、獨立空氣過濾、溫度控制器和易於使用的控制器軟件。DJ-1205V是一種水平、分段、低熱質量的石英管,內徑為26英寸,提供22英寸的有效反應堆直徑。它在整個反應器上提供均勻的溫度,從而確保基板表面上均勻的薄膜生長。氣體系統允許為各種過程操作多達四種氣體。拉伸彈簧確保石英管牢固地放置在爐子上,並為管子提供潛在的損壞保護。KOKUSAI DJ-1205V爐的自動裝卸裝置包括磁力驅動的閉環機械臂,專為頂裝和底裝應用而設計。該機器允許將底物精確地放置到石英管中,從而確保薄膜的均勻和準確的沈積。還有一個獨立的空氣過濾工具,可以去除任何環境雜質。DJ-1205V配有一個外部控制器來控制和監測石英管內的溫度。該裝置采用PID溫度控制的四區加熱區設計。這些熔爐還包括一個內置警報資產,用於通知用戶任何違規行為,並確保安全運行。控制器軟件使爐子的安裝和操作更加簡單.KOKUSAI DJ-1205V擴散爐及配件結合了最佳的機械、電氣、軟件技術,生產出優質的沈積加工,提高產量。它為用戶提供均勻的工藝溫度,精確的膜沈積,以及額外的空氣過濾清潔操作。DJ-1205V具有廣泛的特點、寬廣的溫度範圍和高性能,提供卓越的性能和生產率,以創造高質量、可靠的薄膜沈積效果。
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