二手 KLA / TENCOR 2920 #9375410 待售

KLA/TENCOR 2920是一種掩模和晶片檢測設備,它提供有關掩模和晶片關鍵特征以及缺陷分析的清晰準確的圖像。它擁有高分辨率的數字成像系統和用於圖像比較和分析的最先進的軟件。該裝置擁有專有的RapidImageSource™成像機和先進的多頻散射掃描光學器件，為掩模和晶圓檢測提供了卓越的靈敏度和準確性。它可用於自動檢查蝕刻後晶片、光掩模和照明掩模目標的關鍵特征和缺陷。KLA 2920配備了包括圖像采集資產、圖像比較和分析軟件以及定位模型在內的高分辨率數字成像工具。該成像設備利用獨特的散射光束和高度靈敏的CCD攝像機來捕捉掩模和晶片上關鍵特征的清晰準確的圖像。多頻散射掃描光學系統允許成像單元以40 nm的分辨率獲取圖像。這臺機器經過優化以檢測小缺陷並確定其大小、形狀、位置和方向。分析軟件可以實現模式識別、圖像增強和缺陷自動分類。該工具還具有用於精確樣品掃描的先進定位機制。TENCOR 2920還具有增強的過程控制能力。它可以監控從啟動到診斷測試的整個過程，提高吞吐量、重復性和質量控制。資產可以自動生成詳細報告，並提供實時數據，用於流程優化和糾正措施。2920是一種可靠、通用的面膜和晶圓檢測模型。它提供卓越的成像功能、增強的過程控制功能和高級分析軟件,以實現缺陷檢測的最大精度。該設備為圖案化晶片、光掩模和光鏡掩模檢查提供了經濟高效的解決方案。