二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9183325 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一種高度通用的矽加工設備，用於制造半導體。它的靈活性使得它成為各種項目的有用工具，從小規模原型設計到高產量運行。AMAT CENTURA Reactor是一種在熱處理室中處理矽基板的單步高真空反應器。這種獨特的專利設計提供了一種高度均勻、低介電常數的塗層。該腔室配有石英波紋管密封、低壓泵送系統，配有快速循環閥和計算機控制流量的氣體輸送系統。該反應堆旨在減少成本高昂的工藝步驟，同時滿足行業對薄膜均勻性、可靠性和產量的要求。該反應器主要用於沈積矽化鎢、矽化鈦、矽化鈷和其他矽化物材料。它有一個單室，高15英寸，寬2英尺，深4英尺。該腔室配有兩個獨立的電子微處理器控制器，幾個溫度和氣流傳感系統，以及一個腔室視圖端口。溫度可設定為50-1000⁰C,最高處理溫度為850⁰C。反應堆有可互換的晶圓載體，容納直徑3至8英寸的晶圓尺寸。載波為每個晶片提供精確的水平和垂直位置。轉動載流子提供的離心力產生表面電荷，確保得到的薄膜具有一致的均勻性和厚度。應用材料CENTURA反應堆是許多半導體工藝的寶貴工具。隨著可調節參數的多功能性，包括溫度、氣流、壓力和反應時間，這種反應堆可以提高效率，同時降低制造過程中的成本和時間。其精確的包絡設計、穩健的電子設備以及精確的氣體和溫度控制，確保了工藝結果的一致性和精確度。