二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9285089 待售

KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一款晶圓測試和計量設備，設計用於在半導體芯片制造過程中提供高精度測量。系統由多個部件組成，每個部件設計為提供整體單元的特定功能。機器的中心部分是基礎架構子系統。這包括數據采集工具、掃描電子和預對齊階段。數據采集資產負責從傳感探測器收集數據。掃描電子設備生成掃描模式,並控制晶片級的運動,使晶片在曲面上移動。最後，預對準階段確保在任何測量開始之前將探針置於晶圓上感興趣的特征之上。晶片級子系統負責在預先對齊的探針周圍移動晶片並獲取數據。它采用三軸執行器設計，為晶圓提供高精度定位。執行器系統的設計是為了確保探頭的位置與感興趣的特征一致。圖像處理子系統負責分析探測器收集的數據。它提供了實時數據處理功能，以及高級圖像處理算法，以準確檢測感興趣的缺陷和特征。該模型還包括幾個後處理濾波器，以確保數據沒有噪音和偽影。分析和報告子系統允許實時處理圖像。它包括檢測地形模式、粗糙度測量和其他參數的算法。分析和報告子系統還可以提供數據的統計分析以及生成報告文檔。KLA 6220 Surfscan是一款革命性的設備，旨在提供廣泛的晶圓測試和計量能力。通過提供半導體晶圓測試和計量的綜合解決方案，系統提高了制造工藝的準確性和效率。該單元還設計用於最大限度地提高晶圓測試過程的正常運行時間和吞吐量。