二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #192508 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款晶圓測試和計量設備，專為半導體行業的質量控制和缺陷檢測而設計。它使用多種技術測量晶圓表面的地形，包括光學幹涉測量、激光散射測量和電子反向散射衍射。KLA 6200 Surfscan有一個樣本階段，根據數據收集和分析的需要，精確測量、定位和掃描晶片。如有必要,可以使用自動晶圓處理程序完成此操作。TENCOR 6200 Surfscan的光學幹涉測量技術使用相幹光產生的幹涉圖樣來生成晶圓表面的3D地形圖。然後,系統將使用此數據來測量多個曲面參數,如平坦度、步高、斜角和粗糙度。激光散射測量技術基於光與表面的相互作用而運行。根據散射光強度與晶圓粗糙表面特性的關系進行測量。電子反向散射衍射（EBSD）用於通過從材料晶格上衍射電子來確定樣品的微觀結構。PROMETRIX 6200 Surfscan能夠處理各種各樣的晶圓材料和尺寸，包括300毫米和200毫米晶圓。該單元還具有許多可選功能，包括可調節光束掃描儀，用於優化光學幹涉分辨率，以及用於分析和生成晶圓報告的軟件包。該機還具有多項安全功能，如碰撞檢測、保護樣品的可調安全圍欄以及用於監測光線水平的激光快門。6200 Surfscan是用於前沿半導體應用的質量控制和缺陷檢測的強大工具。它提供快速、準確和可靠的結果,幫助制造商確保最優質的產品。